Introduction du produit de base du Chuck électrostatique ESC
2026-01-23
Le Chuck électrostatique ESC est un dispositif de serrage de plaquette de noyau dans le domaine de la fabrication de semi-conducteurs, avec l'adsorption électrostatique comme principe fondamental. Il forme un champ électrostatique en appliquant une haute tension et réalise la fixation sans contact des plaques par la force de Coulomb ou la force de Johnson-Rahbek, servant de composant clé indispensable dans les processus sous vide tels que la gravure au plasma, l'implantation d'ions et le dépôt de films minces.Ce produit est adapté aux environnements de processus difficiles, y compris les conditions non magnétiques et le vide ultra-élevé de 10 ⁻⁵ Pa et au-dessous, et peut adsorber stablement divers matériaux diélectriques tels que des plaques, du saphir et du verre. Il prend en charge des conceptions personnalisées d'électrodes bipolaires, multipolaires et interdigitées, avec la précision globale de la planéité de la surface d'adsorption atteignant 1 μm et le parallélisme supérieur à 5 μm. La force d'adsorption est ≥10N sous la tension d'adsorption standard, et la force d'adsorption résiduelle reste supérieure à 60% pendant 24 heures, permettant le maintien d'un effet de serrage stable pendant une période prolongée.En termes de structure et de performance, le mandrin électrostatique ESC est revêtu d...
Analyse des avantages techniques et des applications industrielles des mandrins électrostatiques ESC
2026-01-23
En tant que nouveau type de technologie de serrage de précision remplaçant le serrage mécanique traditionnel et l'adsorption sous vide, les mandrins électrostatiques ESC ont été appliqués à grande échelle dans divers domaines de fabrication haut de gamme tels que les semi-conducteurs, les écrans de panneaux, la photovoltaïque solaire et l'optique de précision en vertu de leurs avantages techniques uniques et sont devenus le support central pour le traitement moderne des feuilles minces ultra-propres.Par rapport aux méthodes de serrage traditionnelles, les principaux avantages techniques des mandrins électrostatiques ESC se reflètent dans quatre aspects principaux.Tout d'abord, le serrage sans contact et sans contrainte: la fixation est réalisée par la force électrostatique sans contact physique, ce qui évite complètement les dommages aux plaques et l'effet d'exclusion des bords causés par les dispositifs mécaniques, et est adapté au traitement de plaques ultrafines d'une épaisseur inférieure à 50 μm et de matériaux semi-conducteurs fragiles tels que le GaN et le SiC.Deuxièmement, pleine adaptabilité environnementale: Il peut fonctionner stablement dans diverses conditions de travail telles que la pression atmosphérique, l'ultra-vide et le plasma, et peut adsorber les conducteurs, les semi-conducteur...
Principe de travail du Chuck électrostatique ESC
2026-01-23
Le noyau d'un mandrin électrostatique ESC est d'obtenir une fixation sans contact et précise de pièces minces telles que des plaques et des substrats en verre en vertu de l'induction électrostatique et de la force de champ électrique. Il s'agit essentiellement d'un système d'adsorption capacitive contrôlable, adapté aux conditions de travail difficiles des semi-conducteurs telles que les environnements sous vide et au plasma. Pendant ce temps, il s'adapte à diverses exigences de processus à travers différents mécanismes d'adsorption.Il présente une structure de type sandwich: la couche inférieure est une plaque de base pour l'intégration de support et de circuit, la couche moyenne est constituée d'électrodes métalliques (unipolaires, bipolaires ou multipolaires), et la couche superficielle est recouverte d'une couche diélectrique isolante et thermiquement conductrice en matériaux tels que le nitrure d'aluminium et l'oxyde d'aluminium. Pendant le fonctionnement, la pièce agit comme la plaque supérieure d'un condensateur, l'électrode intégrée comme la plaque inférieure et la couche diélectrique comme le milieu isolant, formant une structure capacitive complète qui jette les bases de la génération de champs électriques.Dans les applications pratiques, la force d'adsorption est principalement dérivée de...
Quels facteurs affectent la force d'adsorption des mandrins électrostatiques ESC?
2026-01-23
Les facteurs fondamentaux influant sur la force d'adsorption des mandrins électrostatiques ESC peuvent être classés en quatre types: caractéristiques du matériau, paramètres structurels, paramètres de fonctionnement et environnement de travail. Ces facteurs sont liés entre eux et déterminent directement la stabilité, l'uniformité et l'adaptabilité de l'adsorption, avec une analyse détaillée comme suit: 1. Caractéristiques matériellesLes matériaux constituent la garantie fondamentale de la force d'adsorption, et leur impact central réside dans l'effet de la conduction de charge et de la formation de champs électriques.Matériel et performances de la couche diélectriqueLa constante diélectrique et la résistivité du volume de la couche diélectrique déterminent directement le mécanisme d'adsorption et l'ampleur de la force d'adsorption. Une constante diélectrique plus élevée se traduit par un champ électrique plus fort et une force d'adsorption plus grande (en particulier la force de Coulomb); Les céramiques de nitrure d'aluminium ont une constante diélectrique plus élevée que l'oxyde d'aluminium et offrent de meilleures performances d'adsorption. La résistivité du volume doit être adaptée avec précision au mécanisme d'adsorption: pour les mandrins de force J-R, elle doit être contrôlée dans la plage de...
Comment améliorer la stabilité et la sécurité des mandrins électrostatiques ESC
2026-01-23
Pour améliorer la stabilité et la sécurité des mandrinons électrostatiques ESC, un système de garantie complet doit être établi à partir de quatre dimensions: contrôle du fonctionnement, entretien quotidien, optimisation structurelle et adaptation environnementale. Ce système assure la stabilité durable des performances d'adsorption, la protection de la sécurité des opérations, des pièces de travail et des équipements et évite les risques potentiels tels que l'accumulation de charge et l'usure du matériel. 1. Contrôle précis des paramètres de fonctionnement pour consolider le noyau de la stabilitéLa régulation rationnelle des paramètres de fonctionnement est la base pour maintenir la stabilité d'adsorption et éviter les risques potentiels pour la sécurité, qui doivent être définis avec précision en combinaison avec les mécanismes d'adsorption et les scénarios de processus.Correspondance précise des paramètres de tensionRéglez la tension nominale en fonction du type de mandrin (force de Coulomb / force J-R) et interdisez strictement le fonctionnement de surtension - le type de force de Coulomb est contrôlé à 3000-4000V, et le type de force J-R est limité à 500-800V pour éviter la rupture de la couche diélectrique et l'accumulation excessive de charge. Equipez-vous d'un module de surveillance de la t...
Caractéristiques du produit et classification de base des vannes à vide TVA
2026-01-23
Les vannes à vide sont des composants clés pour l'isolement des zones et le contrôle du flux d'air dans les systèmes à vide, spécialement conçus pour diverses conditions de travail à vide couvrant des environnements à vide élevé, à vide ultra-élevé et à vide extrême. Avec une conception sophistiquée et des performances stables, ils sont devenus des composants de base des systèmes à vide dans des domaines tels que la fabrication de précision et les expériences de recherche scientifique. En tant que marque professionnelle de vannes à vide originaire de Suisse, la TVA a toujours mis l'accent sur la fiabilité des composants et l'adaptabilité aux conditions de travail pour construire un système de produit qui répond aux exigences de processus strictes.Les caractéristiques fondamentales des vannes à vide TVA se reflètent dans de multiples aspects. Les corps de vanne sont principalement fabriqués en matériaux résistants à la corrosion tels que l'acier inoxydable et l'alliage d'aluminium, et certains modèles sont revêtus de couches spéciales, qui peuvent résister à l'érosion des gaz de processus corrosifs et toxiques et s'adapter à différentes conditions de travail de température. Certains produits peuvent résister à des températures élevées supérieures à 400°C, répondant ainsi aux besoins de scénarios spéc...
Avantages techniques et scénarios d'application industrielle des vannes à vide TVA
2026-01-23
Avec une conception technique différenciée et une adaptabilité complète aux scénarios, les vannes à vide à TVA jouent un rôle central dans les systèmes à vide dans diverses industries. Leurs avantages techniques se reflètent non seulement dans les performances de base, mais également dans les solutions personnalisées développées pour les points de douleur de différents processus, tout en garantissant à la fois la stabilité du système et la longue durée de vie.En termes de conception technique, les vannes à vide VAT améliorent les performances globales grâce à un certain nombre de technologies brevetées. La technologie de contrôle de la courbe de mouvement optimise le rythme d'ouverture et de fermeture de la vanne, ralentissant la vitesse près du point de fermeture pour réduire les vibrations et les impacts, éviter la génération de particules supplémentaires et protéger les environnements de processus sensibles. La structure d'étanchéité est optimisée de manière ciblée et la méthode d'étanchéité est choisie en fonction des caractéristiques du matériau et des exigences du processus, ce qui non seulement assure l'étanchéité à l'air lors de la fermeture, mais réduit également l'usure des pièces d'étanchéité et prolonge la durée de vie des composants. L'intégration d'un module de commande intelligent est...
Quels sont les scénarios d'application des bagues toriques DuPont Kalrez?
2026-01-23
Les bagues toriques DuPont Kalrez conviennent aux conditions de travail difficiles dans diverses industries en raison de leur résistance à la corrosion chimique, de leur adaptabilité à une large plage de températures et de leurs caractéristiques de faible contamination. Ils jouent un rôle essentiel, en particulier dans les processus clés nécessitant un étanchéité stable à long terme et l'évitement des risques de contamination et de fuite. Leurs scénarios d'application spécifiques sont les suivants: 1. Fabrication de semiconducteursEn tant que composant d'étanchéité de noyau pour les procédés semi-conducteurs, les bagues toriques de Kalrez sont adaptables à divers processus de plasma et environnements sous vide, couvrant tous les maillons clés de l'ensemble du processus de fabrication de puces. Dans les processus de dépôt, pour des scénarios tels que le dépôt de vapeur chimique au plasma à haute densité (HDPCVD), le dépôt de vapeur chimique renforcée au plasma (PECVD) et le dépôt de couche atomique (ALD), ils peuvent résister aux gaz de processus, y compris TMS, TEOS, NF ₃ and O₂ ainsi que les environnements à haute température (250 ℃ à 310 ℃). Certaines qualités telles que Kalrez® 9600 présentent une faible érosion et une faible perte de poids, répondant aux exigences des applications sous vide à ...
Quelle est la résistance à la corrosion chimique des anneaux toriques de Kalrez?
2026-01-23
Large gamme de résistance chimiqueLes anneaux toriques de Kalrez peuvent résister à plus de 1 800 types de produits chimiques, y compris les acides forts (p. ex. acide nitrique concentré), les alcalins forts (p. ex. hydroxyde de sodium), les solvants organiques (p. ex. toluène, acétone, dichlorométhane), les éthers, cétones, esters, solvants d'anneaux benzéniques, oxydants forts, composés aminés, combustibles, huiles et graisses, etc.Sa structure de chaîne principale perfluorée n'a pas de sites de réaction actifs, éliminant fondamentalement la possibilité de défaillance de corrosion. Vérification de la résistance à la corrosion chimiqueTest de gonflement: Après 6 mois d'immersion dans une solution mélangée de toluène, acétone et dichlorométhane, les anneaux toriques de Kalrez ne présentent presque aucun changement de volume, tandis que d'autres caoutchoucs subissent une déformation sévère.Test comparatif: Lorsque Kalrez et le caoutchouc fluoré sont immergés dans des milieux organiques tels que l'acétone et le toluène, le caoutchouc fluoré gonfle significativement après 16 minutes, tandis que Kalrez reste stable. Avantages en matière de résistance à la corrosion chimiqueRésistance à la corrosion bien supérieure aux caoutchoucs ordinaires: Kalrez peut maintenir ses performances d'étanchéité même dan...
Porte de vanne fendue - Principe structural et caractéristiques de base
2026-01-23
La porte de la vanne à fente est un composant spécial pour l'isolation des cavités et le contrôle d'allumage et d'arrêt dans les systèmes à vide. Nommé pour son adaptation à l'ouverture rectangulaire "fente de transfert" entre la cavité de transfert et la cavité de procédé, il appartient à la catégorie des vannes d'isolation à porte. Avec sa structure compacte et ses performances d'étanchéité fiables, il est devenu un composant clé des systèmes à vide dans les domaines de la fabrication haut de gamme et de la recherche scientifique. Sa conception principale est développée autour des exigences d'étanchéité et d'isolation des environnements sous vide, en tenant compte de la réponse ouverture-fermeture et du contrôle de la propreté, et est adaptée à une variété de conditions de travail difficiles.En termes de principe de fonctionnement, la porte de vanne à fente réalise l'allumage et l'arrêt du trajet d'écoulement à travers le mouvement linéaire de la plaque de grille, formant une barrière d'isolation entre les cavités. À l'état fermé, la plaque de grille est étroitement attachée au siège de la vanne et le flux de gaz est bloqué par la pression structurelle et les caractéristiques des pièces d'étanchéité pour maintenir l'état de vide à l'intérieur de la cavité. À l'état ouvert, la plaque de grille mont...
