La porte de la vanne à fente est un composant spécial pour l'isolation des cavités et le contrôle d'allumage et d'arrêt dans les systèmes à vide. Nommé pour son adaptation à l'ouverture rectangulaire "fente de transfert" entre la cavité de transfert et la cavité de procédé, il appartient à la catégorie des vannes d'isolation à porte. Avec sa structure compacte et ses performances d'étanchéité fiables, il est devenu un composant clé des systèmes à vide dans les domaines de la fabrication haut de gamme et de la recherche scientifique. Sa conception principale est développée autour des exigences d'étanchéité et d'isolation des environnements sous vide, en tenant compte de la réponse ouverture-fermeture et du contrôle de la propreté, et est adaptée à une variété de conditions de travail difficiles.
En termes de principe de fonctionnement, la porte de vanne à fente réalise l'allumage et l'arrêt du trajet d'écoulement à travers le mouvement linéaire de la plaque de grille, formant une barrière d'isolation entre les cavités. À l'état fermé, la plaque de grille est étroitement attachée au siège de la vanne et le flux de gaz est bloqué par la pression structurelle et les caractéristiques des pièces d'étanchéité pour maintenir l'état de vide à l'intérieur de la cavité. À l'état ouvert, la plaque de grille monte et tombe verticalement au sommet de la cavité de la vanne, rendant le chemin d'écoulement entièrement dégagé et fournissant un canal pour le transfert de pièces de travail telles que des plaques et des substrats ou la circulation du gaz. Les méthodes de conduite pneumatiques, électriques et autres sont prises en charge, qui peuvent être sélectionnées en fonction des exigences d'automatisation du système. Certains modèles peuvent réaliser des actions d'ouverture et de fermeture rapides pour s'adapter au rythme de fonctionnement des conditions de travail à haute fréquence.
La conception structurelle de la porte à fente a une pertinence distincte. Le corps de la vanne est principalement fabriqué en matériaux résistants à la corrosion tels que l'acier inoxydable, qui peut résister à l'érosion des médias de processus et de l'environnement et prolonger la durée de vie. La structure d'étanchéité est optimisée et assortie de pièces d'étanchéité spéciales pour atteindre des performances de fuite faibles, qui peuvent répondre aux exigences d'étanchéité des environnements à haut vide et à ultra-haut vide. Pour répondre aux exigences de propreté, le produit adopte une conception à faible génération de particules pour réduire les impuretés générées par le mouvement et le frottement de la plaque de porte et éviter de polluer l'environnement sous vide. Dans le même temps, la structure globale est compacte et la profondeur d'installation est adaptée à la limitation d'espace de l'ouverture de fente, qui peut être intégrée sans faille dans la position d'interface de la cavité de transfert et de la cavité de processus, en tenant compte de la commodité d'installation et de la compatibilité du système.
Les caractéristiques fondamentales se reflètent également dans l'adaptabilité aux conditions de travail. Certains modèles supportent des conditions de travail de cuisson sous vide à haute température, peuvent résister à une certaine gamme de changements de température sans affecter les performances d'étanchéité; Les modèles scellés entièrement en métal peuvent s'adapter à des environnements d'utilisation plus difficiles et faire face aux défis posés par les fluctuations de pression et de température élevées. En outre, la vanne a une grande stabilité pendant le fonctionnement et peut toujours maintenir l'effet d'étanchéité et le mouvement en douceur après ouverture et fermeture répétées, réduisant la fréquence de maintenance.