En tant que nouveau type de technologie de serrage de précision remplaçant le serrage mécanique traditionnel et l'adsorption sous vide, les mandrins électrostatiques ESC ont été appliqués à grande échelle dans divers domaines de fabrication haut de gamme tels que les semi-conducteurs, les écrans de panneaux, la photovoltaïque solaire et l'optique de précision en vertu de leurs avantages techniques uniques et sont devenus le support central pour le traitement moderne des feuilles minces ultra-propres.
Par rapport aux méthodes de serrage traditionnelles, les principaux avantages techniques des mandrins électrostatiques ESC se reflètent dans quatre aspects principaux.
Tout d'abord, le serrage sans contact et sans contrainte: la fixation est réalisée par la force électrostatique sans contact physique, ce qui évite complètement les dommages aux plaques et l'effet d'exclusion des bords causés par les dispositifs mécaniques, et est adapté au traitement de plaques ultrafines d'une épaisseur inférieure à 50 μm et de matériaux semi-conducteurs fragiles tels que le GaN et le SiC.
Deuxièmement, pleine adaptabilité environnementale: Il peut fonctionner stablement dans diverses conditions de travail telles que la pression atmosphérique, l'ultra-vide et le plasma, et peut adsorber les conducteurs, les semi-conducteurs, les isolants et les matériaux poreux, avec une portée d'application extrêmement large.
Troisièmement, faible consommation et haute propreté: La consommation d'énergie de l'adsorption électrostatique est beaucoup plus faible que celle des équipements d'adsorption sous vide. En outre, aucun potentiel électrique n'est généré sur l'arrière de la pièce de travail pendant le processus d'adsorption, de sorte qu'elle n'adsorbera pas la poussière et les particules environnantes, répondant aux exigences ultra-propres des procédés semiconducteurs.
Quatrièmement, opération contrôlable et facile: Il peut réaliser l'adsorption rapide et la libération avec une force de serrage stable et précisément réglable. En coopérant avec un contrôleur personnalisé, il peut minimiser le temps de déblocage et améliorer l'efficacité globale de l'exploitation du processus.
Dans les applications industrielles, les mandrins électrostatiques ESC sont des composants essentiels dans la fabrication de semi-conducteurs frontaux. Dans des processus tels que la gravure, l'implantation d'ions et le dépôt de films minces CVD / PVD, ils assurent la fixation positionnelle et l'uniformité de température des plaques dans des environnements extrêmes, ce qui affecte directement la précision et le rendement de la fabrication de puces. Dans l'industrie des panneaux, ils sont utilisés pour le serrage plat de substrats de verre dans les processus de stratification sous vide pour éviter les rides et les bulles d'air pendant le stratification. Dans les domaines de la photovoltaïque solaire et de l'optique de précision, ils peuvent réaliser le support souple et le traitement de haute précision de pièces minces telles que les plaques de silicium et les lentilles optiques.
Pendant ce temps, les mandrins électrostatiques ESC peuvent fonctionner en coordination avec des équipements tels que des presses à chaud sous vide. Dans les processus émergents tels que l'emballage avancé de semiconducteurs et l'intégration Chiplet, grâce à la synergie de domaines multi-physiques tels que la fixation sans contact, le vide, le contrôle précis de la température et la pression uniforme, ils résolvent les problèmes de goulots d'étranglement des processus traditionnels tels que l'oxydation, les bulles d'air et les dommages de stress. Avec le développement des procédés semi-conducteurs vers une plus grande miniaturisation et intégration, les mandrinons électrostatiques ESC sont mis à niveau dans la direction de la haute précision, de la haute conductivité thermique et de la personnalisation modulaire.